精密蚀刻行业ERP系统演示手册

1 演示场景概览

1.1 业务背景

氢驰新能源科技有限公司（以下简称"氢驰"）是一家专注氢燃料电池系统集成的科创企业，已获得某商用车企的燃料电池电堆定点。氢驰需要采购 10,000片 316L不锈钢金属双极板用于首批30台电堆的装配，要求流道精度±0.02mm、表面含Cr/CrN防腐导电涂层，08-05前全部交付。

客户

氢驰新能源科技有限公司

客户编号：CUST-HC003 · 商用车电堆项目

订单产品

BPP-316L-SS-01 金属双极板

316L不锈钢 · 0.1mm · 蛇形流道 · Cr/CrN涂层

订单数量

10,000 片

订单金额

¥685,000

单价 ¥68.5/片（含涂层委外）

下单日期

2026-07-15

07-16 客户确认规格后生效

要求交货日

2026-08-05

交期 21 天（含PVD委外5天）

1.2 产品规格特征卡

金属双极板是典型的规格驱动型产品——同一名称的双极板因材质、厚度、流道类型、精度等级、涂层要求不同而价格迥异。本订单产品规格如下：

特征项	特征值	对工艺/成本影响
基材材质	316L不锈钢	基础材料价（钛合金TA2同等规格贵约2.5倍）
材料厚度	0.1mm（超薄）	超薄板对传送和蚀刻均匀性要求更高
外形尺寸	150 × 380 mm（有效区+密封边）	决定排版数量和基材利用率
流道类型	蛇形流道 + 平行分配区	复杂度影响菲林制作和曝光对位难度
流道深度	0.4mm ± 0.02mm	深度公差决定工艺等级→加工费
流道宽度	0.8 / 1.0 mm（分配区/流道区）	—
精度等级	精密级（±0.02mm）	需LDI直写曝光，不可用普通菲林
涂层要求	Cr/CrN多层PVD涂层	委外加工，目标接触电阻<10mΩ·cm²
平面度	≤0.05mm	需要严格的基材来料控制和蚀刻后矫平

行业特点·按单定制（MTO+ETO混合）：双极板为项目定制——流道图形由客户提供DFM设计文件，工艺参数需打样验证后锁定。成品仓无现货库存，必须客户确认规格后按单投产；且要求同一炉批号基材（10,000片用同一批316L不锈钢卷料），防止不同批次的蚀刻行为差异导致流道一致性偏差——这是后续MRP和领料的关键约束。

1.3 全流程鸟瞰

从接单到发货，该订单在ERP中将经历 8个模块、19个关键操作步骤：

阶段	模块	关键操作	输出单据	执行日期
1	销售管理	CPQ规格报价→客户图号绑定→订单审核	销售订单 SO-20260715-001	07-15~16
2	MRP	运行MRP（含化学品消耗定额+基材利用面积计算）	计划订单（采购+委外+生产）	07-16
3	采购管理	基材/化学品请购→采购单→IQC检验入库	采购单 PO-001~005	07-16~23
4	委外管理	PVD涂层委外加工	委外单 SUB-PVD-001	07-31~08-04
5a	生产管理	前处理（清洗+贴膜）	工单 WO-PRE-001	07-23
5b	生产管理	曝光+显影	工单 WO-EXP-001	07-24~25
5c	生产管理	蚀刻（核心工序·三阶段梯度）	工单 WO-ETC-001	07-26~28
5d	生产管理	去膜+清洗+初检	工单 WO-STR-001	07-29~30
6	生产管理	全尺寸检验+电测+外观AOI	检验报告 QC-001	07-31
7	委外管理	PVD涂层发外加工→涂层件回厂终检	委外单 SUB-PVD-001	07-31~08-04
8	销售发货	成品批次码生成→出货检验→发货开票	发货单 DN-001 · 发票	08-05

演示前提：本演示假设ERP系统中已完成基础数据配置——物料主数据（含特征参数）、配置化BOM（含化学品定额）、工艺路线（含各工序标准工时和费率）、工作中心/设备档案、供应商/客户档案均已录入（配置方法详见《培训手册》第7章）。本手册聚焦日常业务操作流程。

2 销售订单与规格确认

销售员李经理接到氢驰的询价后，先按规格特征用CPQ组价报价，客户接受后录入销售订单，绑定客户图号、确认交期。

2.1 操作步骤

1 打开「销售管理 → 报价单维护」→ 选择产品族「金属双极板」→ 逐项选择特征值，系统自动组价：

基础板价 ¥32.5（0.1mm 316L蚀刻加工） + 精密级曝光加价 ¥8 + 蛇形流道复杂度 ¥5 + PVD涂层委外 ¥20 + 包装 ¥3 = ¥68.5/片

2 报价确认 → 转销售订单：BPP-316L-SS-01 × 10,000片 × ¥68.5

3 上传客户DFM图纸（DWG-HC3-BPP-V2.1）→ 系统绑定图号与版本

4 系统校验：客户信用额度 ✔ · 产品为MTO无现货 → 交期评估（ATP）→ 建议08-05

5 客户07-16确认规格 → 订单审核生效

2.2 系统界面模拟

📋 销售订单维护 — SO-20260715-001 状态：已审核（规格已确认）

订单编号	SO-20260715-001	订单日期	2026-07-15
客户	氢驰新能源科技有限公司	客户编号	CUST-HC003
项目名称	商用车氢燃料电堆（30台）首批	销售员	李经理
客户图号	DWG-HC3-BPP-V2.1（DFM文件已上传）	付款条件	预付30% · 发货前付清
交货日期	2026-08-05	交货方式	汽运 · 防静电真空包装 · 每托盘500片

行号	物料编码	物料名称（含特征）	数量	单价	金额
10	BPP-316L-SS-01	316L金属双极板 0.1mm 蛇形流道 Cr/CrN涂层（图号V2.1）	10,000 片	¥68.50	¥685,000.00
			合计：		¥685,000.00

系统校验结果：
BPP-316L-SS-01 为MTO定制物料，成品库存 0 片 → 全量安排生产。图号绑定是订单生效的前置控制节点——未上传客户确认的图号及版本，订单无法审核、MRP不纳入需求池。ATP检查：基材316L 0.1mm卷料供应商交期7天 + 蚀刻生产8天 + PVD委外5天 = 20天，满足07-15→08-05交期。

订单生效后的系统动作（07-16）：
① 收到预付款 ¥205,500（30%）→ 财务收款单核销
② 订单行进入 MRP需求池，需求日期 = 交期 08-05 倒排
③ 客户图号 DWG-HC3-BPP-V2.1 与订单绑定，后续所有工单/检验单均携带此图号
④ 订单状态：「已审核，待排产」

3 MRP运算

规格确认当天（07-16），计划员运行MRP。系统按BOM逐层展开，并按面积利用率和化学品消耗定额自动备量——这是精密蚀刻行业MRP区别于装配行业的核心：基材消耗按排版利用率+边角料计算，化学品消耗按单位面积处理量计算。

3.1 操作步骤

1 打开「计划管理 → MRP运算」

2 参数设置：计划日期 07-16，考虑库存+在途，按交期 08-05 倒排

3 系统逐层展开BOM：成品 → 蚀刻半成品(含各工序损耗) → 基材/化学品(含消耗定额)

4 审核MRP结果 → 批量生成计划订单

3.2 MRP需求展开

🔍 MRP需求展开结果 — BPP-316L-SS-01 × 10,000片运行时间：07-16 09:30

层级	物料	类型	毛需求	现有库存	净需求	建议计划（含损耗备量）
0	BPP-316L-SS-01 成品双极板（含涂层）	制造+委外	10,000	0	10,000	先投产蚀刻10,500片半成品（+5%损耗备量），委外涂层后成品入库
1	BPP-316L-R1 蚀刻半成品（未涂层）	制造	10,500	0	10,500	计划生产 10,500片
2	316L不锈钢卷料 0.1×160mm	外购	1,750 ㎡	50 ㎡	1,700 ㎡	计划采购 1,700 ㎡（约1,150 kg）
2	感光干膜 DF-200	外购	175 ㎡	20 ㎡	155 ㎡	计划采购 160 ㎡（3卷）
2	FeCl₃蚀刻液 42°Be	外购	2,100 L	400 L	1,700 L	计划采购 2,000 L（含补加损耗）
2	Na₂CO₃显影液（工业纯碱）	外购	35 kg	10 kg	25 kg	计划采购 30 kg
2	NaOH去膜液（片碱）	外购	50 kg	15 kg	35 kg	计划采购 40 kg
2	防静电真空包装（套/片）	外购	10,000 套	500	9,500	计划采购 10,000 套
1	Cr/CrN PVD涂层加工	委外	10,500 片	—	10,500	委外涂层 10,500 片（蚀刻半成品发出）
2	铬靶材（PVD用）	外购（委外自带）	—	—	—	含在委外加工费中（供应商自备）

※ 基材面积计算：排版3片/排 × 利用率85% → 单耗0.0175㎡/片 → 10,500片×0.0175 = 183.75㎡ → 含边角料备量 = 1,750㎡
※ FeCl₃消耗定额：0.2L/片（基于0.1mm厚316L蚀刻经验值），10,500片 = 2,100L
※ 感光干膜消耗：双面贴膜，单耗0.0168㎡/片（含排版损耗），10,500片 = 176.4㎡

MRP计划订单汇总（共生成7张计划订单）：

制造计划生产单 × 4：前处理+贴膜 · 曝光+显影 · 蚀刻 · 去膜+清洗（可合并为1张总工单或多张分工单）

委外委外加工单 × 1：PVD涂层(10,500片)

外购计划采购单 × 5：316L卷料(1,700㎡) · 感光干膜(160㎡) · FeCl₃(2,000L) · Na₂CO₃(30kg) · NaOH(40kg) · 真空包装(10,000套)

行业要点·炉批号锁定：MRP生成的316L基材采购计划带订单号追溯标记（SO-001专用料）。基材到货后将按炉批号锁库，只允许本订单领用——从计划源头保证"同单同批基材"，防止批次差异导致流道精度波动。

4 采购与委外执行

计划订单转采购单/委外单。本章演示5张采购单+1张委外单的执行过程，重点关注基材炉批号管理和化学品IQC检验。

4.1 操作步骤

1 计划订单 → 批量转采购申请（PR）→ 询比价 → 生成采购单（PO）

2 供应商确认交期 → 到货 → IQC检验 → 入库（基材炉批号绑定）

3 蚀刻半成品完工后 → 创建委外单 → 发料至PVD涂层厂 → 涂层件回厂检验入库

4.2 采购单汇总

采购单号	供应商	物料	数量	单价	金额	下单日	到货日	状态
PO-20260716-001	浦项不锈钢	316L不锈钢卷料 0.1×160mm	1,700 ㎡	¥85/㎡	¥144,500	07-16	07-23	已收货
PO-20260716-002	旭化成代理	感光干膜 DF-200 300mm幅宽	160 ㎡	¥35/㎡	¥5,600	07-16	07-21	已收货
PO-20260716-003	华谊化工	FeCl₃蚀刻液 42°Be	2,000 L	¥3.5/L	¥7,000	07-16	07-20	已收货
PO-20260716-004	国药试剂	Na₂CO₃ 30kg + NaOH 40kg	70 kg	—	¥1,260	07-16	07-19	已收货
PO-20260716-005	永新包装	防静电真空包装袋+干燥剂+托盘	10,000 套	¥3/套	¥30,000	07-16	07-22	已收货
采购合计：					¥188,360

4.3 IQC收货检验模拟（基材到货·重点）

📥 采购收货单 — PO-20260716-001（316L不锈钢卷料）收货日期 07-23

采购单号	物料	订购数量	本次收货	炉批号	仓库	IQC结果
PO-001	316L不锈钢卷料 0.1×160mm	1,700 ㎡	1,712 ㎡	LOT-316L-20260718-A	基材仓（恒温恒湿）	✅ 厚度 0.098~0.102mm · 硬度HV 178~185 · 表面无划伤 · 无氧化 ✅ 材质证明书（MTC）炉号与实物一致

✅ 炉批号 LOT-316L-20260718-A 标记为「SO-001 专用料」→ 锁库，禁止其他订单领用
✅ IQC附加检验：抽检3处/卷，XRF材质确认316L（Cr 16~18%, Ni 10~14%, Mo 2~3%）
✅ 采购单状态更新为「已完成」，财务生成应付暂估 ¥144,500

蚀刻行业IQC特色：基材检验远不止"点数和看外观"——厚度全检（或高频率抽检）和炉批号绑定是蚀刻良率的生命线。0.1mm基材若局部偏厚至0.11mm，同样蚀刻时间下流道深度就不达标。MTC（材质证明书）的炉号必须与实物料卷标签一致，这是IATF 16949审核的必查项。

4.4 化学品到货检验

采购单号	物料	到货数量	IQC检验项	结果
PO-003	FeCl₃蚀刻液	2,000 L	浓度42±0.5°Be · 游离酸≤0.3% · 无浑浊沉淀	✅ 合格
PO-002	感光干膜 DF-200	160 ㎡（3卷）	膜厚20±2μm · 有效期2027-01 · 冷藏包装完好	✅ 合格
PO-004	Na₂CO₃ + NaOH	70 kg	纯度≥99% · 无结块 · 包装无破损	✅ 合格

采购完成后的系统联动（07-23）：
① 各物料即时库存更新，316L基材按炉批号+库位管理
② 财务生成应付暂估：材料 ¥188,360
③ 齐套检查：07-23 系统提示「SO-001 物料已齐套，可下达生产工单」
④ 感光干膜移入冷藏库（5~10℃），系统记录冷藏库位号

5 生产执行

物料齐套后（07-23），生产按前处理+贴膜 → 曝光+显影 → 蚀刻 → 去膜+清洗+初检四张工单依序执行。每张工单均执行"下达→领料→报工→完工"闭环，关键工序（曝光、蚀刻）由设备PLC自动向MES回传工艺参数。

5.1 阶段一：前处理 + 贴膜（WC-PRE 前处理车间）

🧹 生产工单 — WO-PRE-20260723316L卷料前处理+双面贴膜 10,500片份

工单编号	WO-PRE-20260723	产品	316L基材（前处理+贴膜后）
工单数量	10,500 片份	工作中心	WC-PRE（超声清洗线+真空贴膜机）
计划开工	07-23	计划完工	07-23（当日完成）
工序	开卷→矫平→超声清洗(120kHz)→碱性脱脂→水洗→热风干燥→双面真空贴膜(DF-200)→冷却

工单领料

领料单号	物料	应发数量	实发数量	炉批号/批次	日期
ISSUE-0723-01	316L不锈钢卷料 0.1×160mm	1,750 ㎡	1,712 ㎡	LOT-316L-20260718-A	07-23
ISSUE-0723-02	感光干膜 DF-200	160 ㎡	158 ㎡	BATCH-DF-20260721	07-23

※ 卷料开卷后按排版尺寸分切为150×380mm片料，实际得片数10,560片（利用率约85%，在计划范围内）

MES工艺参数记录

参数项	设定值	实际值	判定
超声清洗频率	120 kHz	120 kHz	✅
脱脂温度	60±5℃	62℃	✅
贴膜温度	105±5℃	107℃	✅
贴膜压力	0.4±0.05 MPa	0.42 MPa	✅
贴膜速度	2.0 m/min	2.0 m/min	✅

5.2 阶段二：曝光 + 显影（WC-EXP 曝光车间）

💡 生产工单 — WO-EXP-20260724LDI激光直写曝光+显影 10,500片

工单编号	WO-EXP-20260724	产品	曝光显影后待蚀刻片
工单数量	10,500 片	工作中心	WC-EXP（LDI直写曝光机×2 + 显影线）
计划开工	07-24	计划完工	07-25
曝光方式	LDI激光直写（精度±1.5μm），图号 DWG-HC3-BPP-V2.1，数字掩膜自动对位
关键参数	曝光能量 180mJ/cm² · 对位精度±3μm · 显影液Na₂CO₃ 1.0% · pH 9.5±0.3 · 温度 45℃ · 速度 0.8m/min

MES对位精度记录（每200片抽检1片）

抽检片号	正面X偏差(μm)	正面Y偏差(μm)	反面X偏差(μm)	反面Y偏差(μm)	套刻偏差(μm)	判定
#0200	+1.2	-0.8	+0.5	+1.1	1.8	✅
#2000	-0.3	+1.5	-1.0	+0.7	2.1	✅
#5000	+0.9	+0.4	-0.6	-0.9	1.6	✅
#8000	-1.3	-0.7	+1.1	+0.3	2.4	✅（<3μm）

工单报工 — 07-25

工单	工作中心	完工数量	不良（曝光缺陷）	实耗机时
WO-EXP-001	WC-EXP	10,480 片	20片（显影不净12 · 对位超差8）	23.5 h

曝光合格率 99.81%，20片不良品报废处理（填报废单 SCRAP-0725-01）。10,480片流入蚀刻工序。

LDI vs 传统菲林曝光：本工单使用LDI激光直接成像——不需要物理菲林，直接从客户DFM文件（DWG-HC3-BPP-V2.1）生成曝光路径。优势：① 省去菲林制作时间和成本；② 套刻精度±1.5μm优于菲林的±25μm；③ 图号版本变更时仅需更新数字文件。ERP中需将客户图号和版本与工单绑定。

5.3 阶段三：蚀刻（核心工序 — WC-ETC 蚀刻车间）

⚗️ 生产工单 — WO-ETC-20260726三阶段梯度蚀刻 10,480片 → 目标深度0.4mm±0.02

工单编号	WO-ETC-20260726	产品	双极板蚀刻半成品（去膜前）
投产数量	10,480 片	工作中心	WC-ETC（三槽梯度喷淋蚀刻线）
计划开工	07-26	计划完工	07-28
目标深度	0.4mm ± 0.02mm（流道区）；0.2mm ± 0.01mm（分配区，通过半蚀刻控制）

三阶段梯度蚀刻参数（MES自动采集）

阶段	FeCl₃浓度(°Be)	温度(℃)	喷淋压力(MPa)	传送速度(m/min)	目标去除深度	实际平均深度
一段（快速蚀刻）	28	40	0.25	1.2	0.32mm (80%)	0.318mm
二段（深度控制）	24	34	0.20	0.8	0.39mm (97.5%)	0.388mm
三段（精细修整）	18	25	0.15	0.5	0.40mm (100%)	0.399mm

蚀刻在线SPC监控（每100片抽检深度，CPK实时计算）

统计项	流道深度（目标0.4±0.02）	分配区深度（目标0.2±0.01）	流道宽度（目标0.8±0.03）
样本数	105 片	105 片	105 片
均值	0.399 mm	0.201 mm	0.798 mm
标准差σ	0.0045 mm	0.0028 mm	0.0072 mm
CPK	1.48	1.19	1.39

蚀刻完工报工 — 07-28

工单	完工数量	深度不良	侧蚀超差	表面缺陷	合格数
WO-ETC-001	10,480	105	38	42	10,295

蚀刻综合良率 98.23%（185片不良报废），CPK达标。报废原因分布：深度超差105片（占比57%）→ 蚀刻三段参数微调后改善，后续批次可优化。

5.4 阶段四：去膜 + 清洗 + 初检（WC-STR 后处理车间）

🧼 生产工单 — WO-STR-20260729去膜+清洗+外观初检 10,295片

工单编号	WO-STR-20260729	工作中心	WC-STR（去膜线+多级清洗+AOI初检）
计划开工	07-29	计划完工	07-30
工序	NaOH去膜(3%, 70℃)→热水洗→超声波清洗→纯水洗→热风干燥→AOI外观初检

工单报工 — 07-30

工单	完工数量	AOI检出不良	合格数	不良类型
WO-STR-001	10,295	48	10,247	残膜8 · 划伤15 · 清洗水渍10 · 边缘毛刺15

蚀刻半成品完工汇总：
投产 10,500片 → 曝光段损耗 20片 → 蚀刻段损耗 185片 → 去膜段损耗 48片 = 合格半成品 10,247片
累计损耗 253片（2.41%），在计划备量5%（525片）以内 → 足以覆盖后续PVD委外损耗
10,247片蚀刻半成品入库（半成品仓，炉批号 LOT-316L-20260718-A 随转）

6 成品检验与销售发货

6.1 PVD涂层委外

🔬 委外加工单 — SUB-PVD-20260731Cr/CrN多层PVD涂层

委外单号	SUB-PVD-20260731	供应商	苏州纳米涂层科技
加工内容	316L蚀刻半成品 → 双面Cr/CrN多层PVD涂层 · 膜厚0.5~1.0μm · 接触电阻<10mΩ·cm²
发料数量	10,247 片（07-31 委外发料单 SUB-OUT-0731-01）
加工费	¥20/片 × 10,247 = ¥204,940
计划回厂	08-04

08-04 收回涂层件 10,235片（涂层损耗12片，0.12%以内）→ PVD涂层检验：膜厚0.78±0.05μm · 接触电阻 3.1~7.2mΩ·cm² · 百格附着力5B ✅
委外收回单：SUB-IN-0804-01 · 加工费计入双极板物料成本 · 合格涂层件正式转为成品物料编码 BPP-316L-SS-01

6.2 成品全尺寸检验（QC-001）

📐 成品检验报告 — QC-20260804-00110,235片涂层双极板全检/抽检

检验项目	检验方式	标准	结果
外形尺寸 150×380mm	每托盘抽5片（二次元）	±0.05mm	✅ 合格
流道深度 0.4mm	每托盘抽5片（激光共聚焦）	±0.02mm	✅ CPK=1.48
流道宽度 0.8/1.0mm	每托盘抽5片（工具显微镜）	±0.03mm	✅ CPK=1.39
平面度	每托盘抽5片（激光平面度仪）	≤0.05mm	✅ 均值0.032mm
涂层膜厚	每托盘抽3片（XRF）	0.5~1.0μm	✅ 0.78μm
接触电阻	每托盘抽3片（四探针）	<10mΩ·cm²	✅ 3.1~7.2
涂层附着力	每批首末件（百格）	≥4B	✅ 5B
外观缺陷	AOI 100% + 人工目检抽检	AQL 0.65	✅ 无异常

抽检未发现超差 → 判定批次合格。生成出货全尺寸报告（按客户要求格式），与发货单同步提供。
最终合格成品入库：10,235片，生成成品批次号：FG-20260804-HC3-BPP-A

6.3 销售发货

🚚 销售发货单 — DN-20260805-001发货日期 08-05

发货单号	销售订单	客户	发货数量	成品批次号	运输方式	状态
DN-20260805-001	SO-20260715-001	氢驰新能源	10,000 片	FG-20260804-HC3-BPP-A	汽运（专车）	✅ 已发货

📦 包装明细：20托盘 × 500片/托盘，防静电真空包装，内置干燥剂+湿度指示卡
📄 随货文件：出货检验报告 · 材质证明书(MTC) · RoHS声明 · 装箱清单
💰 发货前收到尾款 ¥479,500（70%）→ 应收账款清零
📊 剩余库存：235片成品（FG-20260804-HC3-BPP-A）→ 留待客户备品调用

批次追溯链（成品→原材料）：
FG-20260804-HC3-BPP-A → 工单 WO-ETC-001 (蚀刻参数完整) → 基材 LOT-316L-20260718-A（浦项不锈钢 · MTC炉号匹配）
客户扫码即可查询该批次成品的完整生产履历（人/机/料/法/环/测），追溯查询时间 < 30秒。

7 成本核算

08-05发货后，财务结算该订单的工单成本。精密蚀刻的成本核算核心在于化学品消耗分摊和多段损耗归集。

7.1 成本结构汇总

成本项目	预算金额	实际金额	差异	说明
直接材料
316L不锈钢基材	¥144,500	¥145,520	+1,020	实到1,712㎡（比计划多12㎡）
感光干膜 DF-200	¥5,600	¥5,530	-70	实领158㎡
FeCl₃蚀刻液	¥7,000	¥6,820	-180	实耗1,948L（三段循环利用）
Na₂CO₃ + NaOH	¥1,260	¥1,180	-80	按实际消耗
真空包装材料	¥30,000	¥30,000	0	实发10,000套
直接材料小计	¥188,360	¥189,050	+690
直接人工	¥42,000	¥43,680	+1,680	曝光/蚀刻段加班4h
制造费用	¥68,000	¥66,500	-1,500	设备折旧+电力+洁净室运维
委外加工	¥205,000	¥204,940	-60	PVD涂层 10,247片×¥20
报废损失	¥17,125	¥16,370	-755	253片报废（材料成本¥65/片）
订单总成本	¥520,485	¥520,540	+55	偏差 0.01%

7.2 盈利能力分析

订单收入

¥685,000

订单总成本

¥520,540

毛利

¥164,460

毛利率

24.0%

成本分析要点：
① 化学品成本占比低（约2.6%）：FeCl₃+显影液+去膜液合计¥13,530，占总成本仅2.6%。化学品成本不是蚀刻成本管控的重点——损耗和良率才是。
② 委外成本占比高（39.4%）：PVD涂层委外¥204,940，是第二大成本项。若量产规模持续扩大，可评估自建涂层线的投资回报。
③ 报废损失可控（3.1%）：253片报废损失¥16,370，在5%计划备量以内。主要报废集中在蚀刻段（深度超差），建议下一批次调整三段蚀刻参数。
④ 基材成本是最大单项（28.0%）：¥145,520。基材利用率从85%提升到88%可节省约¥5,000/万片。

8 全流程回顾

8.1 单据链路图

SO-001
销售订单 → MRP
需求展开 → PO-001~005
采购单 → WO-PRE
前处理 → WO-EXP
曝光 → WO-ETC
蚀刻 → WO-STR
去膜 → SUB-PVD
涂层委外 → QC-001
成品检验 → DN-001
发货

8.2 关键数据汇总

销售订单

¥685,000

10,000片 × ¥68.5

采购总金额

¥188,360

5张采购单

委外加工费

¥204,940

PVD涂层 10,247片

累计投产

10,500 片

含5%损耗备量

综合良率

97.5%

253片报废 / 10,500投产

毛利率

24.0%

毛利 ¥164,460

8.3 精密蚀刻ERP流程特征总结

特征	说明	对应系统能力
规格驱动	同一产品因材质/厚度/精度/涂层不同而价格迥异	CPQ特征报价，参数选配→自动组价→自动路由工艺路线
基材批次锁定	同单必须同炉批号基材，防止批次蚀刻差异	MRP采购计划带订单追溯标记，入库锁库，领料校验
化学品消耗定额	按单位面积计算消耗，非按件	BOM支持"用量类型=面积比例"，自动按投产面积×定额计算需求
多段损耗归集	曝光/蚀刻/去膜各段均有独立损耗率	工艺路线每道工序维护损耗率，MRP逐层叠加备量
设备参数追溯	曝光机/蚀刻机关键参数需自动采集	MES与设备PLC对接，工单→参数→批次完整关联
委外涂层管理	PVD/电镀等后处理常委外	委外发料/收回/加工费核算，涂层参数检验标准绑定
全尺寸报告	客户要求每批随货提供尺寸检测数据	QMS模块生成批次COA（出厂检验证书），自动关联发货

精密蚀刻行业ERP 系统演示手册

演示流程导览

1 演示场景概览

1.1 业务背景

1.2 产品规格特征卡

1.3 全流程鸟瞰

2 销售订单与规格确认

2.1 操作步骤

2.2 系统界面模拟

3 MRP运算

3.1 操作步骤

3.2 MRP需求展开

4 采购与委外执行

4.1 操作步骤

4.2 采购单汇总

4.3 IQC收货检验模拟（基材到货·重点）

4.4 化学品到货检验

5 生产执行

5.1 阶段一：前处理 + 贴膜（WC-PRE 前处理车间）

工单领料

MES工艺参数记录

5.2 阶段二：曝光 + 显影（WC-EXP 曝光车间）

MES对位精度记录（每200片抽检1片）

工单报工 — 07-25

5.3 阶段三：蚀刻（核心工序 — WC-ETC 蚀刻车间）

三阶段梯度蚀刻参数（MES自动采集）

蚀刻在线SPC监控（每100片抽检深度，CPK实时计算）

蚀刻完工报工 — 07-28

5.4 阶段四：去膜 + 清洗 + 初检（WC-STR 后处理车间）

工单报工 — 07-30

6 成品检验与销售发货

6.1 PVD涂层委外

6.2 成品全尺寸检验（QC-001）

6.3 销售发货

7 成本核算

7.1 成本结构汇总

7.2 盈利能力分析

8 全流程回顾

8.1 单据链路图

8.2 关键数据汇总

8.3 精密蚀刻ERP流程特征总结

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